藍寶石襯底拋光用什么工藝可以實現(xiàn)?LED芯片又是怎么實現(xiàn)表面拋光平整的?吉致電子拋光液小編帶您了解!
目前LED芯片主要采用的襯底材料是藍寶石,在加工過程中需要對其進行減薄和拋光。藍寶石的硬度高,普通磨料難以對其進行加工。在用金剛石研磨液對藍寶石襯底表面進行減薄和粗磨后,表面不可避免的有一些或大或小的劃痕(歡迎免費注冊,登陸中國涂料在線(涂料在線)行業(yè)門戶網(wǎng)址www.zx446.com,免費發(fā)布供求,免費發(fā)布產(chǎn)品,免費發(fā)布企業(yè)動態(tài))。CMP拋光液利用"軟磨硬"的原理很好的實現(xiàn)了藍寶石表面的精密拋光。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展,聚晶金剛石研磨液及二氧化硅拋光液的需求也與日俱增。
CMP技術(shù)還廣泛的應(yīng)用于集成電路(IC)和大規(guī)模集成電路中(ULSI)對基體材料硅晶片的拋光。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的急速發(fā)展,對拋光技術(shù)提出了新的要求。傳統(tǒng)的拋光技術(shù)(如:基于淀積技術(shù)的選擇淀積、濺射等)雖然也可以提供"光滑"的表面,但卻都是局部平面化技術(shù),不能做到全局平坦化。而化學(xué)機械拋光技術(shù)解決了這個問題,它是目前唯可以在整個硅圓晶片上全局平坦化的工藝技術(shù)。
吉致電子深耕CMP拋光技術(shù)拋光材料研發(fā),擁有多種拋光液配方和專利,歡迎咨詢采購半導(dǎo)體拋光液、藍寶石拋光液、硅片拋光液、玻璃拋光液等專利產(chǎn)品,課免費試樣。
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