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氣體或煙氣氧化

氣體或煙氣氧化使用耐火材料襯里的燃燒室，利用天然氣等輔助流加熱煙氣流而工作，典型的燃燒室溫度大于1100℃，銷毀物質停留時間1-2秒。該技術主要用于氟化工制造廠的生產設備，作為工廠工藝流程的組成部分，可連續運行，用于銷毀廢氣流中的副產物。

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液體噴射式焚燒

液體噴射焚燒爐通常是帶有一個或多個廢物燃燒器的單室焚燒爐，液體廢物被注入其中，被霧化成細小液滴，并在懸浮液中燃燒。切向燃燒通常用于促進湍流混合。之后通過淬火步驟，回收酸性氣體以進行中和。廢氣被引導至吸收器以及干式/濕式洗滌器吸收。

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反應爐裂解

反應爐裂解利用了一個由石墨制成的圓柱形水冷式反應器，以及一個能使反應器溫度達到2000℃的氫氧燃燒器系統。這樣，設備避免了產生大量的煙道氣，從而避免了污染物的大量排放，并使得回收酸性氣體成為可能。

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回轉窯焚燒

回轉窯焚燒爐是耐火材料襯里的旋轉圓柱鋼殼，安裝在水平方向的一個小斜面上。大多數回轉窯都配有加力燃燒器，以確保完全消除廢氣，氫氟碳化物（HFCs）通常被用作燃料。回轉窯常被納入商業焚燒爐設施的設計中，可用于銷毀各種廢物。

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氬氣等離子弧

氬氣等離子弧熱解過程將液態或氣態廢物直接與電等離子體炬產生的氬氣等離子體射流（“飛行中”）混合。氬氣可防止與割炬組件發生反應。廢物在反應室（飛行管）中迅速加熱到大約3000℃并發生熱解。在熱解之后，迅速進行堿淬火至溫度低于100℃，限制二惡英/呋喃的形成，廢氣通過堿洗塔后釋放。該技術具有很高的自動化水平和最低監管要求，以及與安全相關的快速關閉功能。

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氮氣等離子弧

氮氣等離子弧除氮氣為工作氣外，過程類似于氬氣等離子弧。由直流等離子炬與水冷電極一起工作產生的熱等離子體會分解消耗臭氧層物質（ODS）和HFCs。液化氣可以直接從其加壓存儲設備送入反應器中，而液體先送入壓力容器中，然后在送入反應器之前與壓縮空氣一起送入蒸發器中。來自等離子體的氣體被送入氧化管，在其中首先使ODS和HFCs與蒸汽反應，分解為一氧化碳（CO），氫氟酸（HF）和鹽酸（HCl）。將空氣引入管的底部以將CO氧化為二氧化碳（CO2）。

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與氫氣和二氧化碳產生化學反應

HFCs與氫氣和二氧化碳的熱反應導致其不可逆地轉化為鹵化氫（例如HCl和HF）和/或鹵化物鹽。銷毀過程旨在產生和收集可銷售的副產品（HCl和HF）；使煙囪（廢氣）中的HCl、HF和CO含量降至最低。

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過熱蒸汽反應堆

在過熱蒸汽反應器中，鹵代烴在高溫氣相中發生分解。首先將鹵代烴，蒸汽和空氣混合并預熱至500oC，然后將混合氣送入電加熱至850-1000oC的管式反應器。分解主要通過水合作用產生HF、HCl和CO2。廢氣被引入洗滌塔冷卻器，在冷卻器中用氫氧化鈣（Ca（OH）2）溶液沖洗將廢氣淬滅并中和酸。由于廢氣淬火，二惡英/呋喃的濃度降至最低。該技術在HFCs（包括HFC-23）的銷毀方面具有很高的潛力。