昆山國(guó)華電子真空等離子清洗機(jī)上不容忽視的密封件

背景技術(shù)

隨著微電子技術(shù)的不斷發(fā)展，相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈，降低成本、提高生產(chǎn)效率則是提高企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的常用手段。如LED光源生產(chǎn)企業(yè)為提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本，在刻蝕工藝過(guò)程中采用托盤(pán)搬運(yùn)的方式實(shí)現(xiàn)同時(shí)搬運(yùn)和刻蝕多個(gè)基片。

在實(shí)際使用過(guò)程中，由于方形結(jié)構(gòu)的密封圈5不易變形，使得刻蝕加工設(shè)備存在問(wèn)題：第一，基座1與托盤(pán)2不能很好地接觸，從巾影響基座1與托盤(pán)2之間的熱傳導(dǎo)，導(dǎo)致托盤(pán)2表面溫度不均勻，從而影響刻蝕工藝的穩(wěn)定性，如溫度較高的區(qū)域可能出現(xiàn)光刻膠崩潰的問(wèn)題（歡迎免費(fèi)注冊(cè)，登陸中國(guó)涂料在線(xiàn)（涂料在線(xiàn)）行業(yè)門(mén)戶(hù)網(wǎng)址www.zx446.com，免費(fèi)發(fā)布供求，免費(fèi)發(fā)布產(chǎn)品，免費(fèi)發(fā)布企業(yè)動(dòng)態(tài)）。第二，密封圈5的頂部和內(nèi)側(cè)不易密封，使得背吹空間3不能很好地密封，從而導(dǎo)致氫氣泄漏，這不僅影響丁藝腔室的真空度以及降低氣冷的效果.而且還導(dǎo)致生產(chǎn)成木的增加.在實(shí)標(biāo)應(yīng)用中，盡管可以通過(guò)增加作用在托盤(pán)2上的機(jī)械力而增大密封網(wǎng)的變形量，但是，增大機(jī)械力又容易導(dǎo)致石英材料制成的機(jī)械壓環(huán)4味碎，因此，增大作用在托盤(pán)上機(jī)械力的方式不能完全解決上述問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，作為本實(shí)用新型一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，在密封圈本體內(nèi)側(cè)設(shè)置第二凸部，借助第二凸部可以提高密封圈軸向的密封性能。類(lèi)似地，本實(shí)用新型提供的等離子體加工設(shè)備，由于采用本實(shí)用新型提供的密封圈，借助易于變形的第一凸部和第二凸部不僅可以分別提高密封圈徑向和軸向的密封性能，使得背吹空間獲得良好的密封，從而可以減少因氦氣泄漏對(duì)工藝腔室真空度的影響，同時(shí)減少氦氣的使用量，降低生產(chǎn)成本。而且，第一凸部可以使基座和托盤(pán)保持良好的接觸，從而提供托盤(pán)表面溫度的均勻性，這又使得置于托盤(pán)頂部不同位置的基片的刻蝕速度相同，提高刻蝕工藝的穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

密封件的選擇是否合適，是一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)密封性好壞的關(guān)鍵。其實(shí)，真空等離子清洗機(jī)如何選擇合適的密封件也是有方法可循的。真空等離子清洗機(jī)上所使用的密封件從種類(lèi)上分主要有3種，第一種是O型密封圈、第二種是管路支架密封件、第三種是密封墊片。

分類(lèi)

1.真空等離子清洗機(jī)上所使用的O型密封圈
O型密封圈(O-rings) 是一種截面為圓形的橡膠密封圈， 因其截面為O型， 故稱(chēng)其為O型橡膠密封圈。O型密封圈是機(jī)械設(shè)計(jì)中最常見(jiàn)的密封元件之一。主要運(yùn)用在真空等離子清洗機(jī)的真空腔體與其他部件相連接的部位，起到密封作用，比如真空腔體與真空門(mén)之間的密封、饋入電極與真空腔體之間的密封以及真空腔體與真空管路之間的密封。

2.真空等離子清洗機(jī)上所使用的管路支架密封件

管路支架密封件是一種運(yùn)用于真空等離子清洗機(jī)外部管路與管路之間相連接的密封件，管路支架密封件一般和真空卡箍一起配合使用，使用時(shí)將管路支架密封件放置在管路與管路之間，然后用真空卡箍鎖緊，通過(guò)真空卡箍的擠壓，使管路夾緊管路支架密封件，最終可實(shí)現(xiàn)密封效果。主要優(yōu)點(diǎn)是安裝起來(lái)十分方便，無(wú)需使用工具；密封性能好，主要運(yùn)用在真空管路之間的連接處上。

3.真空等離子清洗機(jī)上所使用的密封墊片

密封墊片是一種用于有流體的機(jī)械、設(shè)備所使用的密封件.密封墊片是金屬或非金屬的板狀材質(zhì)，經(jīng)切割、沖壓或裁剪等工藝制作而成的，主要用于機(jī)器設(shè)備的機(jī)件與機(jī)件之間的密封連接，用于有流體的機(jī)械、設(shè)備所使用的密封件，密封墊片是金屬或非金屬的板狀材質(zhì)，經(jīng)切割、沖壓或裁剪等工藝制作而成的。