昆山國華電子真空等離子清洗機上不容忽視的密封件

背景技術

隨著微電子技術的不斷發展，相關生產企業的競爭越來越激烈，降低成本、提高生產效率則是提高企業競爭力的常用手段。如LED光源生產企業為提高生產效率、降低生產成本，在刻蝕工藝過程中采用托盤搬運的方式實現同時搬運和刻蝕多個基片。

在實際使用過程中，由于方形結構的密封圈5不易變形，使得刻蝕加工設備存在問題：第一，基座1與托盤2不能很好地接觸，從巾影響基座1與托盤2之間的熱傳導，導致托盤2表面溫度不均勻，從而影響刻蝕工藝的穩定性，如溫度較高的區域可能出現光刻膠崩潰的問題（歡迎免費注冊，登陸中國涂料在線（涂料在線）行業門戶網址www.zx446.com，免費發布供求，免費發布產品，免費發布企業動態）。第二，密封圈5的頂部和內側不易密封，使得背吹空間3不能很好地密封，從而導致氫氣泄漏，這不僅影響丁藝腔室的真空度以及降低氣冷的效果.而且還導致生產成木的增加.在實標應用中，盡管可以通過增加作用在托盤2上的機械力而增大密封網的變形量，但是，增大機械力又容易導致石英材料制成的機械壓環4味碎，因此，增大作用在托盤上機械力的方式不能完全解決上述問題。

為解決上述技術問題，作為本實用新型一個優選實施例，在密封圈本體內側設置第二凸部，借助第二凸部可以提高密封圈軸向的密封性能。類似地，本實用新型提供的等離子體加工設備，由于采用本實用新型提供的密封圈，借助易于變形的第一凸部和第二凸部不僅可以分別提高密封圈徑向和軸向的密封性能，使得背吹空間獲得良好的密封，從而可以減少因氦氣泄漏對工藝腔室真空度的影響，同時減少氦氣的使用量，降低生產成本。而且，第一凸部可以使基座和托盤保持良好的接觸，從而提供托盤表面溫度的均勻性，這又使得置于托盤頂部不同位置的基片的刻蝕速度相同，提高刻蝕工藝的穩定性，提高產品的質量。

密封件的選擇是否合適，是一臺真空等離子清洗機密封性好壞的關鍵。其實，真空等離子清洗機如何選擇合適的密封件也是有方法可循的。真空等離子清洗機上所使用的密封件從種類上分主要有3種，第一種是O型密封圈、第二種是管路支架密封件、第三種是密封墊片。

分類

1.真空等離子清洗機上所使用的O型密封圈
O型密封圈(O-rings) 是一種截面為圓形的橡膠密封圈， 因其截面為O型， 故稱其為O型橡膠密封圈。O型密封圈是機械設計中最常見的密封元件之一。主要運用在真空等離子清洗機的真空腔體與其他部件相連接的部位，起到密封作用，比如真空腔體與真空門之間的密封、饋入電極與真空腔體之間的密封以及真空腔體與真空管路之間的密封。

2.真空等離子清洗機上所使用的管路支架密封件

管路支架密封件是一種運用于真空等離子清洗機外部管路與管路之間相連接的密封件，管路支架密封件一般和真空卡箍一起配合使用，使用時將管路支架密封件放置在管路與管路之間，然后用真空卡箍鎖緊，通過真空卡箍的擠壓，使管路夾緊管路支架密封件，最終可實現密封效果。主要優點是安裝起來十分方便，無需使用工具；密封性能好，主要運用在真空管路之間的連接處上。

3.真空等離子清洗機上所使用的密封墊片

密封墊片是一種用于有流體的機械、設備所使用的密封件.密封墊片是金屬或非金屬的板狀材質，經切割、沖壓或裁剪等工藝制作而成的，主要用于機器設備的機件與機件之間的密封連接，用于有流體的機械、設備所使用的密封件，密封墊片是金屬或非金屬的板狀材質，經切割、沖壓或裁剪等工藝制作而成的。